塗布重量自動計測システム付薄膜積層コーティング装置

0.01ｍｇ/ｃ㎡レベルの微量な塗布重量を瞬時に計測し管理できる薄膜積層コーティング装置。あらゆる塗材を凹凸面であっても薄膜で均一に塗布することができるインパクトパルス®工法をはじめ、多数の特許技術を保有。LEDチップへの多色積層コーティングのほか、燃料電池や全固体電池、二次電池の電極形成、エレクトロニクス分野等への応用も可能。